一、半導(dǎo)體設(shè)備洗滌自動(dòng)烘干主要技術(shù)參數(shù)
1、內(nèi)膽尺寸：左右雙內(nèi)膽，單個(gè)內(nèi)膽尺寸：寬2700*高1400*深2600mm；
2、外形尺寸（約）：寬6610*高3500*深3025mm；
3、溫度范圍：常溫～+300℃可調(diào) ；
4、溫度波動(dòng)度：≤±1℃；
5、溫度均勻度：≤±5℃(空載恒下測試)；
6、升溫速率：≤8℃/min；
7、潔凈度：Class100級(jí)（≥0.5μm塵粒≤3.5顆/升）（工作室）；
8、外殼溫度：溫升不超過環(huán)境+25℃，門周邊除外。
9、電源：三相五線制，220V，50HZ；
10、總功率：120KW；

二、半導(dǎo)體設(shè)備洗滌自動(dòng)烘干箱體結(jié)構(gòu)特征
1、外殼材料：采用2mm厚Q235冷軋鋼板（強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能好）折彎焊接制作；
2、內(nèi)膽材料：采用1.5mm厚SUS304不銹鋼板制作；保持內(nèi)膽清潔無塵，防生銹、耐腐蝕；內(nèi)部鈑金與保溫層全部滿焊，防止保溫層隔熱棉泄漏，以保證潔凈度。
3、箱體骨架：采用50*50*3mm角鐵制作；保持箱體內(nèi)外各個(gè)面的承載強(qiáng)度，并保留熱脹冷縮系數(shù)，可防止箱體變形。
4、密封材料：密封條采用進(jìn)口高溫硅膠制作，可耐溫不變形，門與箱體連接密封，加強(qiáng)密封效果；
5、門：自動(dòng)上下開門，從下往上開啟，共計(jì)2扇門，左右獨(dú)立控制。配有升降馬達(dá)，勻速控制。
三、半導(dǎo)體設(shè)備洗滌自動(dòng)烘干培訓(xùn)
進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)